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1. 产品概述
通过高精度多轴机械手，将产品从弹夹内取出，并放置于高洁净度清洗腔体内，通过二流体上下喷淋
与高速离心脱水的双重配合，完成对产品的表面微尘清洗工序。
与高速离心脱水的双重配合，完成对产品的表面微尘清洗工序。
2. 设备应用与行业
该设备主要应用于CCM摄像头模组工艺中的芯片、光学玻璃镜片、VCM、LENS、 IR片表面微尘清洗工艺。
3. 产品特点
（1）效率高
①≥68盘/小时（载具长度＞200mm，每次洗4pcs）
②≥102盘/小时（载具长度≤200mm，每次洗6pcs）（清洗时间按100s算）
（2）良率高 ≥ 99.3％(1um以上尘点洗净率）
（3）兼容性：兼容多种载具（含钢片、AA载具、VCM Tray）
（4）市场占有率高：在国内市场设备的稳定性及效率得到客户一致认可，市场占有率排行前列。
