氩气回收设备-氩气回收装置-氩气回收净化设备

处理气量：（1-1000）Nm3/h
压力：≤1.0Mpa
氩气纯度：≥99.999％ 
露点：≤-70℃

纯氩含氧量：≤1.5ppm

广泛应用于：

光纤，单晶硅，多晶硅行业等氩气的回收及纯化。

单晶硅行业氩气回收（氩气回收率≥95％）

根据单晶炉工作运行的工序，真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气首先经过鼓风机进入到进气储罐，然后再进入到预处理设备，除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元，根据各个工艺将里面的杂质一一去除，然后使得回收气气体纯度达到所需要求，进一步循环利用。