IFM IDE3060-FPKG/US

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  超声波传感器的基础是一种具有高度一致性的微机电超声器件，因此，它具有相似的频率响应特性。

    为了制造成像仪，研究小组应用了现有的微机电系统（MEMS）技术（智能手机的麦克风和定向功能也依靠这种技术）。他们使用了一种改进的制造工艺，用来制造iPhone和其他消费类电子产品中都具有的微机电加速计和陀螺仪。

    Horsley表示：我们的芯片由两层晶片组成，一个是微机电晶片，包含超声波换能器；另一个是CMOS晶片（CMOS，互补金属氧化物半导体，是一种基于硅的技术，用于在微芯片制造晶体管。），包含信号处理电路。这些晶片结构结合在一起，然后微机电晶片经过减肥后来显示超声波换能器。

中海德：叶工

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IFM IA5106

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